mikrosonda (mikro- + sonda), elektronski uređaj za određivanje kemijskog sastava vrlo sitnih uzoraka ili dijelova uzorka (npr. tzv. točkastih nečistoća) na osnovi mjerenja intenziteta fluorescencije u području rendgenskih valova izazvane uskim snopom elektrona, kojemu je promjer između 0,1 i 1 μm. Rezultirajuća sekundarna emisija karakterističnih rendgenskih zraka analizira se posebnim spektrometrima. Nosač uzorka može rotirati i translatirati (do 100 μm) duž međusobno okomitih smjerova, što omogućuje pretraživanje površine i analizu njezinih svojstava, kao što je raspodjela pojedinih elemenata u uzorku, sastav na kontaktima zrna, npr. u slitinama ili mineralima u stijeni, doseg i narav međudifuzije pri sinteriranju ili metamorfnim procesima. Rad mikrosondom pripada među tzv. nedestruktivne metode ispitivanja s velikom moći razlučivanja. Mikrosonda se primjenjuje u analizi čvrstih tvari (minerali, stijene, proizvodi metalurgije i keramičke industrije). Moderni uređaji, uz osnovnu namjenu, imaju i mogućnost rada kao elektronski mikroskop, tj. mogućnost promatranja i snimanja površine uzorka uz velika povećanja (više od 100 000 puta) ili elektronski mikroskop može biti prilagođen za obavljanje mikroanalize.
